使用工业设备自动化控制技术shù，实现了晶圆的高效搬运和精确控制zhì，提高了生产效率和产品质量liàng。

全自动膜厚测量系统集自动化设备的控制zhì、膜厚测试shì、运行状态的监控为一体tǐ的自动软体。

任务管理lǐ：展示任务信息xī、任务详情qíng、晶圆的统计数据以及测试结果guǒ。
创建任务wù：设置搬运控制zhì、Cassette扫片以及确认数据jù。
自动化控制模块kuài：定义机械臂动作指令lìng，下发指令lìng，实现动作的自动化控制zhì。定义坐标biāo，下发坐标biāo，实现xiànXY平台的运动控制zhì。
Cassette扫片piàn：控制机器人对duìCassette盒进行扫片piàn，确认晶圆位置及数量liàng。
搬运模版bǎn：创建模板名míng、设置晶圆尺寸cùn、坐标biāo、Port（同进同出chū、异常分类lèi）等děng。
坐标管理lǐ：展示坐标信息xī，模版的创建jiàn、编辑jí、导入rù、导出等děng。